工藝流程：石英舟及硅片準(zhǔn)備→插片→上料→選擇工藝運(yùn)行→進(jìn)舟→升溫穩(wěn)定→通氧→通源→推進(jìn)→恒溫→出舟→下舟冷卻→測(cè)試→卸片

技術(shù)特點(diǎn)：

●工藝舟軟著陸

●精確溫度控制系統(tǒng)

●閉管擴(kuò)散

●全數(shù)字化控制系統(tǒng)

●數(shù)字式MFC精確控制氣體流量

●隔熱和密封的爐門(mén)系統(tǒng)

●防污染的尾部廢氣處理系統(tǒng)

●緊湊的造型設(shè)計(jì)