New Mega系列膜片閥適用于各種半導體裝置、設(shè)備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產(chǎn)線使用。 該閥利用直接式隔膜結(jié)構(gòu)，達到高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等要求。并且在Mega系列膜片閥基礎(chǔ)上實現(xiàn)了小型化。 口徑：1/4”～1/2”最高使用壓力可達20.5Mpa 材質(zhì)：SUS316L EP級處理軟管·金屬膜片系列 適用于各種半導體裝置、設(shè)備用超高純流體及可燃性、毒性流體生產(chǎn)線使用。該閥采用金屬軟管結(jié)構(gòu)，具備高氣密性、高耐用性、小型性、零死角等特性。 口徑：1/4”～1/2”最高使用壓力可達16.2Mpa 材質(zhì)：SUS316L EP級處理