Centrotherm，Tempress, SVCS擴散爐進口備件

POCL漿: SiC paddle（2258，2620）

恒溫控制器： Temperature-Control System （Fujifilm，Schumacher）

電機：Faulhauber，Tecmotion，Parker，Dunkermotoren，伺服控制器：RDC2，Omron

熱電偶： Profile TC（Left，Right），Spike TC（Single，Double）

MFC（Horiba，Brooks），（3L；15L；30L）

TMM5:   cassette-EI 5zones

TMM6:      temperature measuring module 6 channels CAN-bus

CESAR:   MicroBox Siemens PC420/PC427B

REG97：  Temperature-Controller

RDC2：  DC drive module, 2 axes

RDIO 8/24：  digital I/O module 8 In 24 Out for REG97

壓差計:     differential pressure sensor 

固態(tài)繼電器:  solid state relay 125A

石英件

石英管       TC 套管       排氣管       

管徑變換帽  冷凝瓶       積液瓶       

整套集液瓶       爐門石英蓋       舟架

石英舟156       石英舟125       整套爐門         

石英212槽125    石英212槽156     

燒結(jié)爐Centrotherm，Despatch，BTU, TPS進口備件

履帶：Mesh linked chain W=300mm

雙軌履帶：wire mesh belt conveyor 2 track B 550mm track pitch 236mm

加熱燈管IR-tubular radiator  600W 110V      

加熱燈管IR-tubular radiator  900W 230V       

加熱燈管IR-tubular radiator 1600W 230V

加熱燈管IR-tubular radiator  2400W 230V     

加熱燈管IR-tubular radiator  2700W 230V      

加熱燈管IR-tubular radiator 3700W 230V

加熱燈管IR-tubular radiator  1100W 240V（Desptach）

石英板quartz plate 709x270x5

固態(tài)繼電器Solid state relay

過濾器Solid state relay

Baccini，Asys ，DEK , JRT進口備件

自動卷紙機      臺面紙         印刷臺面       

刮刀夾具       刮條         滾輪   

履帶            攝像頭        上下絲桿         

伺服電機        探針排      原裝INGUN探針     

ELMO卡         烘箱加熱管