刻線線寬： 12-30μm，±3μm
刻線深度： 2-5μm，±2μm
刻線速度： 可調(diào)，最大4s/片
直線度： ±20μm
工作臺重復(fù)定位精度：±10μm
額定輸入電壓： 三相380VAC，50Hz/60Hz,帶保護地線
冷卻方式： 水冷
加工范圍： 125×125mm、156×156mm

應(yīng)用領(lǐng)域：
專用于晶硅太陽能電池選擇性擴散

設(shè)備特征：
六工位全自動工作平臺，加工速度快
操作簡單，維修費用低
軟件自動控制
性價比高