設備簡介：
　　1）適合單晶硅片研磨、切割后的批量清洗，多晶硅片線劇切片后的大批量清洗。
　　2）工藝流程：
　　DI水超聲＋氮氣鼓泡→噴淋→堿超聲→ 噴淋→溢流
　　3）設備采用聯動機械手按節拍同時移動籃具，其工藝時間可以自行調節
　　4）標準工藝下產量：硅片1000片/小時。