全自動(dòng)硅片清洗設(shè)備特點(diǎn)：
進(jìn)口伺服驅(qū)動(dòng)機(jī)構(gòu)及機(jī)械手臂，清洗過(guò)程中無(wú)需人工操作。
通過(guò)PLC實(shí)現(xiàn)控制，全部操作通過(guò)觸摸屏界面一次完成。
可預(yù)先設(shè)制多條清洗工藝，可同時(shí)運(yùn)行多條工藝。
自動(dòng)化程度高，適用于批量生產(chǎn)，確保清洗質(zhì)量的一致性。
自動(dòng)氮?dú)夤呐菅b置可有效提高產(chǎn)品質(zhì)量，縮短清洗時(shí)間。
可選裝層流凈化系統(tǒng)及自動(dòng)配酸裝置。