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應(yīng)用領(lǐng)域：
廣泛用于超LSI制造工廠、半導(dǎo)體制造工廠、原子力研究中心、無塵室、超凈實(shí)驗(yàn)室、超凈工作臺等其他要求超高潔凈度的場合
設(shè)計特點(diǎn)：
1、 主要用于過濾0.12um以上的空氣懸浮顆粒，作為十級與一級過濾系統(tǒng)的末端過濾
2、 濾料采用美國HV超細(xì)玻璃纖維濾紙制成，以熱熔膠為分隔
3、 此設(shè)計降低了運(yùn)行成本，無隔板的熱塑性隔膠可以確保相同褶層間距，保證了最佳氣流通過，達(dá)到高容塵量，充分利用了過濾器整個深度的濾料
4、 外框采用經(jīng)陽極處理增加強(qiáng)硬度及耐久的防腐性
5、 過濾器四周均用特殊密合劑密封，確保整個過濾器的密封性
6、 在過濾器進(jìn)、出風(fēng)面加裝噴塑護(hù)網(wǎng)，以保護(hù)濾紙不被損壞
7、 每臺過濾器均經(jīng)嚴(yán)格測試
8、 過濾效率等級：U15、U16、U17（EN1822）
性能特點(diǎn)：
1、 效率高、阻力低、容塵量高
2、 重量輕、厚度薄
3、 安裝方便、運(yùn)行成本低
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濾料 |
U15-U17美國HV玻纖濾紙 |
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密封膠 |
PU雙組份聚氨脂膠、熱熔膠 |
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框材 |
鋁型材框、鋁板折框、鍍鋅框、不銹鋼框、塑膠框 |
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防護(hù)網(wǎng) |
噴塑菱形網(wǎng) |
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分隔物 |
EVA熱熔膠 |
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密封膠條 |
EVA、氯丁橡膠、PU聚氨脂發(fā)泡膠 |
|
過濾效率 |
U15:99.9995%@0.12μm U16:99.99995%@0.12μm U17:99.999995%@0.12μm |
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使用溫度 |
70℃ |
|
使用濕度 |
100% |
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規(guī)格尺寸 （W×H×D) |
風(fēng)量 (m3/h) |
容塵量 (g) |
過濾面積 (m2) |
初阻力 (pa) |
終阻力 (pa) |
過濾效率 |
|
610×610×50 |
450 |
570 |
7.13 |
180±10 |
400~600 |
U15~U17 |
|
610×610×69 |
600 |
830 |
10.37 |
|||
|
1170×570×69 |
1100 |
1460 |
18.28 |
|||
|
1220×610×69 |
1200 |
1640 |
20.41 |
